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ASML交付第一台YieldStar 385系统 可满足3纳米制程要求

来源:IT之家 作者:信鸽 时间:2021-01-21 13:18:45

IT之家1月21日消息 据微博 @科创版日报 消息,ASML 昨日交付了第一台 YieldStar 385 检测系统。这款产品具备更快速的工作台以及更快的波长切换功能,与此前型号相比具备最新的测量技术,提高了测量速度和准确度,可满足 3nm 制程要求。

YieldStar 385 并不是光刻机,而是用于制造好晶圆检测的装置,可用于各种工艺下的测量,定位有损坏的部分。目前的 YieldStar 380G 系统,采用 425nm 至 885nm 波长的光源进行检测,中心精度可达 1nm,并且支持聚焦于不同的深度,检查芯片不同层的良率。

ASML 没有透露这款产品的销售对象,但 IT 之家此前曾报道,台积电表示将于今年开始 3nm 芯片的研发制造,预计于 2022 年实现量产。

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